降低成本攸關存亡 晶圓廠製程管制成顯學

製程步驟日益增多,在20奈米(nm)和10奈米節點之間,步驟數量預計會翻倍,而這些增加的步驟將影響最終良率。除了對良率的影響外,製程流程複雜程度的增加,也會提高生產成本並延長週期時間。隨著這些趨勢的進展,管理成本和週期時間也對晶圓廠的營運會變得越來越重要。
2016 年 07 月 18 日