EUV微影面臨六大挑戰 材料工程/計量技術解難題

半個多世紀以來,傳統摩爾定律2D縮放定義了半導體產業的技術路線圖。在2000年左右的Dennard縮放時代,半導體業界每兩年可以將電晶體尺寸縮小50%。 圖1 從1970年代至今,電晶體微縮的方法已走過三個階段...
2022 年 09 月 01 日

高效運算整合技術與數據 DTCO製程/設計最佳化有譜

在半導體技術開發初期,可利用製程技術與設計專業最佳化整合力同步進行設計和製程(製造)技術的最佳化(Design Technology Co-optimization,DTCO)。它與可製造性設計(DFM)類似,但是用來開發尚未進入生產、較不成熟的技術。
2021 年 05 月 06 日