滿足微型光學元件量產 EVG多功能奈米壓印方案亮相

微機電系統(MEMS)、奈米科技與半導體市場的晶圓接合暨微影技術設備供應商EV Group(EVG),日前推出EVG7300自動化SmartNIL奈米壓印與晶圓級光學系統。EVG7300是EVG先進的解決方案,可在單一平台上結合如奈米壓印微影技術(NIL)、透鏡壓鑄與透鏡堆疊(UV接合)等多重基於UV架構的製程。這套多功能系統,旨在滿足涉及各種微型和奈米圖案以及功能層堆疊等嶄新應用的先進研發與生產需求,包括晶圓級光學(WLO)、光學感測器與投影機、汽車照明、擴增實境頭戴式裝置使用的波導管、生物醫療設備、超穎透鏡(Meta-lens)與超穎介面(Meta-surface)等光電元件。...
2022 年 01 月 26 日