I-PAT一眼看穿 汽車晶圓缺陷篩選率上層樓

減少可靠性缺陷最簡單的方法就是減少所有缺陷,因此部分業者著重改善半導體生產製程的製程控制策略。不過,除了傳統的製程控制之外,一個被逐漸增加採用的補充辦法是利用線上缺陷資料來決定每一個晶片是否合格。
2019 年 10 月 03 日