SMU軟硬體襄助 晶片電流洩漏測試精準達陣

電流洩漏測試是半導體元件開發的重要環節。設計人員可透過電源量測單元(SMU)提供電壓,來量測元件接腳的漏電流。由於大多數的漏電流在微安培等級以下,因此須選用電流量測解析度達1奈米安培的SMU,並搭配適當測試軟體,才能得到最佳測試結果。
2012 年 04 月 26 日