健全EUV微影生態 JSR/IMEC合資開發新光阻劑

日本光阻材料製造大廠JSR株式會社與比利時微電子研究中心(IMEC)日前共同簽署合作意向書(Letter of Intent, LOI),將攜手成立合資公司,研發生產下一代極紫外光微影(EUV Lithography)光阻(Photoresist)解決方案,以迎合下世代製程技術需求,期能為半導體產業實現EUV微影材料製造和品質控制。 ...
2015 年 05 月 14 日