樣本數提升信賴區間信度 T檢驗提升製程管制效益

在1900年代初效力於愛爾蘭都柏林Guinness啤酒釀酒廠期間,William Sealy Gosset發現了被稱為T檢驗的統計算法。我們今天使用的T檢驗版本是經過Gosset在牛津大學的同事Ronald...
2018 年 03 月 31 日

拓展市場營收版圖 科磊34億美元併奧寶

為拓展市場營收來源及技術價值,半導體設備供應商科磊(KLA-Tencor)宣布以34億美元收購以色列自動光學檢測(AOI)系統供應商奧寶科技(Orbotech),進一步拓展其於印刷電路板(PCB)、平面顯示器、半導體製造和封裝等高成長市場。...
2018 年 03 月 22 日

FOWLP/3D IC加劇缺陷問題 先進封裝檢測技術重要性日增

現今,先進封裝科技領域發展一日千里。而就導線架、散出型晶圓級、覆晶技術和堆疊式封裝而言,所面臨的主要挑戰為何?傳統上,晶圓級封裝(WLP)市場是由使用電鍍錫焊凸塊的覆晶技術晶圓凸塊所支援。近年來,由於更高密度和更精密線距的需求漸增,銅柱亦逐漸成為一項關鍵科技。
2016 年 04 月 10 日

科磊新量測設備增強5D圖案成形技術

科磊(KLA-Tencor)推出兩款支援16奈米(含)以下尺寸積體電路元件的研發和生產的量測設備–Archer 500LCM和SpectraFilm LD10。Archer 500LCM 疊層(Overlay)測量設備在提升良率的所有階段提供準確的Overlay...
2015 年 03 月 06 日

卡位10奈米世代 台積、漢辰搶布新製程/設備

台積電與漢辰正積極研發新製程與設備技術。由於半導體進入10奈米製程世代後,電晶體的微縮將面臨物理極限,亟需新的材料、製程與設備加以克服;因此台積電與漢辰皆已針對未來可望取代矽的鍺和三五族元素,分別投入發展新的晶圓製程,以及離子布植(Ion...
2013 年 03 月 28 日

不再只聞樓梯響 18吋晶圓量產時程表出爐

18吋晶圓技術發展終於步上軌道。在G450C、SEMI及半導體設備大廠共同努力下,18吋晶圓製程設備及標準可望在2016年後逐一到位,將助力半導體產業在2018年順利從12吋晶圓,邁入18吋晶圓世代,包括台積電、英特爾均已揭露量產時程。
2012 年 10 月 04 日

半導體設備商各就各位 18吋晶圓發展全速前進

18吋晶圓製造設備與技術發展將加速。為助力晶圓代工、IC設計商降低生產成本,包括Lam Research、應用材料(Applied Materials)、TEL(Tokyo Electron)及科磊(KLA-Tencor)等半導體設備開發商,已陸續啟動18吋晶圓製造方案布局。其中,科磊已率先量產全球首部18吋晶圓缺陷檢測系統–Surfscan...
2012 年 09 月 24 日

科磊發布新晶圓檢測解決方案套件

科磊(KLA-Tencor)推出三款新型晶圓缺陷檢測系統–2900系列寬頻光學晶圓缺陷檢測平台、Puma 9650系列窄頻光學晶圓缺陷檢測系統和eS800系列電子束檢測系統。此新型旗艦組合旨在解決新材料、新結構和新設計規則給晶片製造商帶來的各種缺陷問題。 ...
2012 年 02 月 01 日

20奈米製程聲聲催 EUV光罩/晶圓檢測發展趕進度

在先進製程邁入20奈米之際,半導體設備商正積極透過策略結盟方式發展EUV光罩缺陷檢測系統,以加速實現EUV技術應用於20奈米節點的目標;另一方面,擁有更高晶圓缺陷檢測精準度與吞吐量的電子束晶圓缺陷檢視設備,需求也逐漸看漲。
2011 年 10 月 03 日

插旗EUV版圖 KLA/SEMATECH締結盟約

為實現零缺陷的極紫外光(EUV)光罩,光罩缺陷檢測系統不可或缺。有鑑於EUV前景可期,科磊(KLA-Tencor)正試圖透過與SEMATECH策略結盟發展光罩缺陷檢測系統,以加速EUV技術成熟,並藉此卡位EUV市場先機。 ...
2011 年 08 月 18 日

搶攻20奈米缺陷檢測 科磊eDR-7000上陣

值此晶圓廠先進製程邁入20奈米以下的世代交替之際,讓更高晶圓缺陷檢測精準度與速度的電子束(e-beam)晶圓缺陷檢視設備重要性劇增。也因此,科磊(KLA-Tencor)瞄準20奈米(nm)及以下製程節點發表eDR-7000,將為挹注2012年可觀營收貢獻的利器。 ...
2011 年 08 月 17 日

前十大半導體設備商揭曉 ASML/泰瑞達最嗆

拜記憶體製造商與晶圓廠加碼擴產之賜,2010年全球半導體資本設備支出金額較2009年劇增143%,其中,先進製程演進和晶片多功能整合趨勢更促使微影(Lithography)與自動化測試設備(ATE)重要性顯著攀升,讓艾司摩爾(ASML)與泰瑞達(Teradyne)2010年營收分別創下高達219%與209%的增長幅度,成為2010年前十大半導體設備供應商中,成長最亮眼的業者。 ...
2011 年 04 月 07 日