達思廢氣處理設備運用燃燒/水洗技術分解N2O

台灣達思(DAS)推出UPTIMUM,該設備專為在使用端(Point-of-Use)達到高效率廢氣處理而設計,在化學氣相沉積(CVD)製程中,可達到最高每分鐘500公升(slm)的廢氣處理效率,解決許多精進製程在提高生產效率的同時相對帶來的挑戰。 ...
2012 年 08 月 06 日