精準雷射圖形產生器需求大增 Micronic致力提昇光罩製造成本效能

作者: 陳玉鳳
2005 年 07 月 14 日

衡諸現階段的電子產業,投資金額最為龐大的領域當屬LCD面板及半導體製造,此兩個部分的製程皆需使用光罩(Photo Mask)。光罩的製造則需動用精準雷射圖形產生器(Laser Pattern Generator),其核心技術為光刻微影技術(Microlithography),來自瑞典的Micronic Laser Systems便是此設備的製造業者。該公司顯示產品行銷協理Per Liden表示,目前全球LCD光罩的製造皆是採用Micronic的雷射圖形產生器,另外,半導體領域使用雷射技術製造光罩的比例也越來越高,這主要是由於雷射寫入的速度較傳統的e-beam速度要高上3~4倍。
 

整體而言,一般半導體製程所需的光罩數目約為24~40層,LCD則需4~5層,Color Filter則需4~6層。而一套光罩可能要耗費30萬美元,甚或達到100萬美元,耗資驚人,再者,所使用到的每一層光罩皆必需完美無瑕,否則任何一點小錯誤都會造成之後產品的瑕疵,因此身為光罩的製造工具,雷射圖形產生器必需求取最高品質,才不致造成下游業者金錢及時間的損失。
 

例如,若一不慎,光罩品質不佳將造成LCD面板出現所謂的Mura,也就是雲紋,雖然由於相當細小而無法為人類肉眼所察覺,甚至也無法測量,但卻會造成整體的影像品質不佳,影響面板品質甚劇。而Micronic便可憑藉多年的經驗,執行完善的雲紋控制功能。
 

Per Liden更指出Micronic的雷射圖形產生器的諸多特點:光罩空格面積可以從150mm x 150mm(半導體)到1399mm x 1500mm(LCD面板)。針對半導體製程,寫入圖形的resolution可以小至130奈米;面板則可小至0.75微米。再者,定位精確度方面,在半導體方面可達到15奈米;面板則是120奈米。
 

Micronic為目前唯一提供LCD面板光罩生產設備-雷射圖形產生器的業者,因此自然是動見觀瞻。Per Liden表示,該公司目前已可提供製造第七及第八代LCD面板光罩的設備,以及相關的MMS15000測量設備。Micronic更致力於灰階光罩(GTM)的雷射圖形產生器的研發生產,以進一步協助LCD面板業者降低生產成本。由於去年LCD面板大量出貨,Per Liden表示,Micronic的營收在2004年創下新紀錄,今年則預計可望突破10億SEK(約為2億1千萬美元),且截至2006年的產能皆已滿載。Micronic的總部位於瑞典斯德哥爾摩北方的Taby,在美國、日本與台灣設有分公司,目前的員工人數計有405人。
 

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