特種材料供應商索爾維在日前的Semicon Taiwan 2022展中，展示其面向全球半導體行業推出的高性能材料產品組合。其展示內容涵蓋前段與後段半導體製造、測試與組裝各個階段的全系列特種聚合物與化學品。
憑藉豐富的技術經驗與廣泛的產品組合，索爾維已成長為半導體特種聚合物與化學品的領先供應商。在不斷發展的半導體市場中，從高性能聚合物到研磨液磨料、氣體和濕化學品，索爾維的材料解決方案針對各大生產商獨特而複雜的需求專門設計，憑藉卓越的純度、長期的化學穩定性與優化的耐高溫性以及等離子穩定性，不斷突破蕊片性能的極限。
採用KetaSpire PEEK、Torlon PAI、 Halar ECTFE、 Hyflon PFA 与MFA、 Solef PVDF 與Algoflon PTFE鑄造的結構部件與內部零件，展示了索爾維特種聚合物在乾法/濕法蝕刻、清洗、化學氣相沉積(CVD)、化學機械研磨(CMP)與黃光等半導體前段製程中的完美匹配。此外，其他參展產品還包括用於生產O環和密封圈的Tecnoflon FFKM、製作CMP研磨墊的Fluorolink、作為真空泵潤滑油的Fomblin PFPE以及用在冷水機中確保適當熱當轉移的Galden PFPE。
上面提到的材料有多款還可以應用於晶圓處理、導管塗層、過濾器、管道管線以及包括晶圓級封裝和探測與測試在內的工藝。這一產品組合還包括Sifren C4F6蝕刻用清洗氣體、用於優化濕法蝕刻的過氧化氫Interox H2O2以及摻染氣體Cypure PH3等專用特殊化學品。此外，為了進一步推動半導體行業發展，索爾維還設立了一家名為新碩先進化工的新合資企業，主要負責於電子級過氧化氫的開發、生產與銷售。這家企業坐落於台南市南部科學園區附近，預計於2023年正式竣工啟用。
